一、概述

      第三代半导体由于其宽禁带所带来的，低驱动电压，低开关损耗等特点，有着光伏，风电，特高压传输，储能，新能源汽车等广泛的应用市场。其di/dt可能会高达几十千A/μs，且可达中高压1-10kV，传统的电流探头和差分探头在持续高频高共模电压的情况下无法解决类似的测试问题。下面介绍下第三代半导体电压电流测试设备：

二、第三代半导体电压电流测试设备

（1）SDG1000X Plus任意波形发生器

      采用创新的TrueArb技术，可以兼顾DDS 技术的简单灵活和逐点输出技术对信号原始信息的保留；应用Easypulse技术，能够生成高质量，低抖动的方波。能够便捷输出高40Mbps的PRBS码型。支持多脉冲输出，助力功率器件双脉冲测试。SDG1000X Plus系列具有16-bit高垂直分辨率，高60MHz输出频率，20V输出幅度，1GSa/s采样率，8Mpts任意波点数，这些显著的性能提升使SDG1000X Plus成为工程师生成信号时更加重要的工具。

（2）高压源

      PRD系列产品新一代双向可编程直流电源，该产品是一款具有源载功能、自动两象限运行、能吸收被测试设备能量回馈的电源。广泛应用于光伏逆变器、储能变流器、光伏/储能混合式逆变器系统测试中太阳能电池板模拟、储能电池/电容模拟等场合。也适用于新能源汽车双向车载充电器、DC/AC电机驱动器、双向直流变换器模拟电池测试等场合。 内置独立高精度电压、电流测量系统，全新编程理念，直达源、载本质。快至微秒量级的动态特性，将直流产品测试提升至全新高度，实验室内即可模拟现场异常工况。

（3）示波器

      8通道SDS6000 Pro高分辨率高带宽数字示波器，带宽可达2 GHz，有10-bit、12-bit两种垂直分辨率可选，单通道实时采样率和存储深度可达10GSa/s以及500Mpts。Sequence模式下，波形捕获率高至750,000 wfm/s，8个模拟通道再叠加数字通道，可同步监测和分析8+16路信号，具备模板测试、波特图、电源分析、逻辑分析、眼图和抖动分析等强大的分析工具，可广泛应用于电机控制、汽车电子、通信、计算机、新能源等行业。

（4）探头

      柔性电流探头/罗氏线圈：CP9000SA 系列探头感应环细小柔软，线径典型值 2.5mm、2.5mm*1.2mm、1.6mm，耐压值分别高达2kVpk、1kVpk和1kVpk，其中，D2A 系列电流环的线圈耐温能达到 150℃，非常适合 MOSFET，IGBT 器件管脚电流测量（TO-220,TO-47 封装）、电容纹波电流测量等小封装器件电流测量。

      光隔离探头：OPL6000系列激光供电光隔离探头，是具有超高共模抑制比的光纤隔离电压探头。传统差分探头的共模抑制比在高频段下降很快，导致准确测量高共模干扰电压下的小电压信号波形极其困难（比如测量半桥电路上管的驱动电压）。OPL6000釆用了高性能的激光器光纤信号传输系统，从而在整个工作带宽内具有超高的共模抑制比，可以帮助客户用很低的成本完成这类挑战性的测量。

      低压差分探头：DP6020A、DP6040A和DP6060A探头是具有浮地测量功能的低压差分探头。测量电压分别±20V(DC+Pk)、40V(DC+Pk)和60V(DC+Pk),其带宽高达800MHz，提供 10:1 、20:1和50:1的衰减设置，具有 200KΩ和400KΩ 的输入阻抗，以及 1 pF和0.5pF 的低输入电容，可以降低电路负载；具有过压报警功能，可以兼容任何具有 50 Ω BNC 输入的示波器，并可以通过示波器或计算机上的 USB 端口供电。在各种应用中得到广泛使用，可以为当今的高速功率测量、车载总线测量和数字系统设计提供出色的通用差分信号测量。

      高压差分探头：DP6000D系列高压差分探头是具有浮地测量功能的高压差分探头。其带宽高达到500MHz，满足了大部分测试系统的需要；丰富的量程可供选择，其差动测量电压范围满足大部分测试电路的要求；用户可进入测试模式，调整偏置电压，探头长期使用后若出现失调现象，用户可进入该模式，调整偏置，实现归零；电子轻触式按键，使得使用寿命更长；具有5MHz带宽限制功能选择，5MHz频率带宽满足大部分开关电源中FETs的开关频率的测量，并可以滤除更高频率的噪声和干扰；带有声光报警功能，且可手动关闭声音报警功能，更具有人性化设计；USB供电接口，使用更加方便灵活；探头配备标准的BNC输出接口，可与任何厂家的示波器配合使用(要求示波器输入阻抗设置为 50Ω（建议使用示波器内部50Ω）， 或者接标配的贯通式 50Ω负载，示波器输入阻抗设置成 1MΩ)测量被测电路波形；自动保存功能，防止掉电后用户重复操作。探头具备良好的共模噪声抑制能力，输入端具有较高的输入阻抗和较低电容，可以准确高速地测量差分电压信号。可广泛用于开关电源﹑变频器﹑电子镇流器﹑变频家电和其它电气功率装置等的研发﹑调试或检修工作中。

      罗氏线圈：CPHX9000B系列罗氏线圈高频电流探头是仅测试AC电流信号的高频电流探头，具有高带宽，高精度（典型值2%）等特点。带宽高达220MHz，标准的BNC输出接口，很方便实现与示波器，数据采集器等连接，观测电流波形；4 节 5 号电池供电或者外部 USB DC5V 电源供电，使用更加灵活方便；声光过流报警功能，更具人性化设计；探头环和连接线长度可以根据客户要求定制，满足特殊场合测试要求。

五、第三代半导体电压电流测试设备实测图