一、高端矢量网络分析仪

（一）关键核心技术攻关成果

1、四个内部相位相参信号源及八个真正并行测量的接收机

2、动态范围大：130 dB（典型值）

3、迹线噪声不足0.001 dB，测量精度高

4、支持64个通道测量、同时显示32个测量窗口

5、四川省重大技术装备国内首台软件首版次推广应用指导目录

          频率范围：10 MHz~50 GHz

（二）应用领域

1、微波毫米波芯片研发与生产测试

2、微波射频器件研发与设计

3、雷达、通信等电子装备测试

4、自动化测试及校准

5、TR组件测试

（三）其他矢量网络分析仪

1、首款

（1）简介：一款用于测量放大器、功分器、耦合器、滤波器、隔离器等多功能矢量网络分析仪。

（2）主要指标：

        频率范围：10 MHz~50 GHz

        八个真正并行测量的接收机

        高动态范围：120 dB(典型值)

        迹线噪声不足0.001 dB，测量精度高

2、第二款

（1）简介：一款多功能经济型矢量网络分析仪，适用于大规模生产的产线，稳定可靠，经济适用。

（2）主要指标：

1、频率范围：300 kHz~26.5 GHz

2、高动态范围：120 dB（典型值）

3、幅度迹线噪声：≤0.006 dB

4、相位迹线噪声：≤0.05°

5、中频带宽：1 Hz-10 MHz

（四）测试夹具-分离谐振腔介电常数测试设备

（1）主要技术指标

1、测试对象：低损耗均质片状材料；

2、测试频率：5~15 GHz（至少包含5GHz、10GHz两个频点）

3、测试范围：

     介电常数 r：1.02 ~ 20.0

     电损耗角正切tan：1×10-4 ～ 3.0×10-2

4、测试误差：

      | r / r | ≤2.0 %             r＝2 ～ 20

      | r | ≤ 2.0% r + 0.01         r＝1.02 ～ 2

      | tan |  10% tan + 1×10-4

     测试结果与厚度相关性大，测试精度可能受厚度测量准确性影响。

5、样品尺寸要求：

     直径无固定尺寸要求，≥85mm；

     厚度范围为20um~2mm，频率越高，介电常数越大，厚度越薄。

（五）测试系统

          微波信号首先由矢量网络分析仪的一个测试端口，经过同轴电缆与耦合装置，进入到测试腔体中，后又经过另一耦合装置与电缆接到矢量网络分析仪。通过测量该传输信号，得到测试空腔和加载测试样品后的谐振频率和品质因数，经由理论分析计算获取被测样品在不同频率下的介电常数和损耗角正切。

                 分离式谐振腔测试系统框图 

（六）测试系统组成